特許
J-GLOBAL ID：200903011952446409
ゾルーゲル法による強誘電体膜の形成方法及びキャパシタの製造方法、及びその原料溶液
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-113973
公開番号（公開出願番号）：特開平6-305713
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：
【要約】【構成】 ゾルーゲル原料溶液中でのジエタノール(DEA)の濃度をモル比で(DEA/総金属原子)>3と比較的高濃度として塗布、乾燥、酸化焼結を行うPb(Zr,Ti)O3 薄膜の形成方法と、その原料溶液。【効果】 450°C程度と比較的低温で酸化焼結を行っても、ペロブスカイト結晶構造のPb(Zr,Ti)O3 等の強誘電体薄膜を得ることができる。
請求項（抜粋）：
ゾルーゲル法によって強誘電体膜を形成するに際し、(a) 強誘電体膜の構成金属元素の有機金属化合物とアルカノールアミン及び/又はβ-ジケトンからなる安定剤とを含有し、この安定剤を総金属原子に対しモル比で(安定剤/総金属原子)>3の濃度で含有する原料溶液を調製する工程と;(b) この原料溶液を塗布する工程と;(c) この塗布された原料溶液を乾燥し、乾燥膜を形成する工程と;(d) この乾燥膜を焼結し、強誘電体膜化する工程と;を有する、ゾルーゲル法による強誘電体膜の形成方法。
IPC (4件)：
C01B 13/32
, C04B 35/49
, H01B 3/00
, H01G 4/12 301
