特許

J-GLOBAL ID：200903011953446224

セラミックヒータ

発明者： 伊藤 康隆 ,  杉本 圭三
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 安富 康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-123271
公開番号（公開出願番号）：特開2002-319476
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】 腐食性ガスに対して優れた耐蝕性を有するセラミックヒータを提供すること。【解決手段】 セラミック基板の内部に抵抗発熱体、および、前記抵抗発熱体と電気的に接続する導電体が形成されたセラミックヒータであって、前記抵抗発熱体および前記導電体は、露出することなく、セラミック基板の内部に埋設され、前記抵抗発熱体または前記導電体の周囲には、コイルが包巻形成されてなることを特徴とするセラミックヒータ。

請求項（抜粋）：

セラミック基板の内部に抵抗発熱体、および、前記抵抗発熱体と電気的に接続する導電体が形成されたセラミックヒータであって、前記抵抗発熱体および前記導電体は、露出することなく、セラミック基板の内部に埋設され、前記抵抗発熱体または前記導電体の周囲には、コイルが包巻形成されてなることを特徴とするセラミックヒータ。

IPC (9件)：

H05B 3/68 ,  C04B 35/581 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/66 ,  H05B 3/00 310 ,  H05B 3/00 350 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/18 ,  H05B 6/02

FI (10件)：

H05B 3/68 ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/66 D ,  H05B 3/00 310 A ,  H05B 3/00 350 ,  H05B 3/10 A ,  H05B 3/10 C ,  H05B 3/18 ,  H05B 6/02 Z ,  C04B 35/58 104 Y

Fターム (31件)：

3K058AA51 ,  3K058BA19 ,  3K059AA08 ,  3K059AB20 ,  3K059AD34 ,  3K059CD52 ,  3K059CD77 ,  3K092PP09 ,  3K092QA05 ,  3K092QB62 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF27 ,  3K092UB01 ,  3K092VV09 ,  4G001BA09 ,  4G001BA36 ,  4G001BA61 ,  4G001BB09 ,  4G001BB36 ,  4G001BB61 ,  4G001BC32 ,  4G001BC42 ,  4G001BC72 ,  4G001BC73 ,  4G001BD21 ,  4G001BE32 ,  4M106AA01 ,  4M106DH02 ,  4M106DH44 ,  4M106DH46