特許
J-GLOBAL ID：200903011966945971

制御されたpHを有する導電性ポリマー

発明者：
マリー・アンゲロプロス

マリー・アンゲロプロス について

, 
ジェームズ・ジョーゼフ・ブッチニャーノ

ジェームズ・ジョーゼフ・ブッチニャーノ について

, 
カレン・イー・ペトリーリョ

カレン・イー・ペトリーリョ について


出願人/特許権者：
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション について


代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-285069
公開番号（公開出願番号）：特開平11-203937
出願日： 1998年10月07日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 制御されたpHを有する導電性ポリマー組成物、それを含む構造体、及びその製法を提供する。【解決手段】 本発明の構造体は、表面と、この表面上に複数の層を有し、この複数の層の少なくとも1つがエネルギー感応性材料で形成され、別の少なくとも1つの層が導電性ポリマーで形成され、この導電性ポリマーは酸官能基を含み、所定のpHを有する。pHはこの導電性ポリマーに混入された添加剤またはこの導電性ポリマーの成分によって制御される。導電性ポリマーはトップ層であることが望ましい。この構造体はマイクロエレクトロニクスの製造において電子線による帯電のレジストに対する影響を回避でき、リソグラフィ用に有用である。この組成物は静電放電、電磁干渉遮蔽、腐食防止、電気めっき、配線などの応用例にも有用である。
請求項（抜粋）：
表面と、前記表面上に配置された導電性ポリマーとを含み、前記導電性ポリマーが酸官能基を含み、前記導電性ポリマーが所定のpHを有する構造。
IPC (3件)：
H01B 1/12 ,  G03C 1/89 ,  G03F 7/038 601
FI (7件)：
H01B 1/12 Z ,  H01B 1/12 C ,  H01B 1/12 E ,  H01B 1/12 F ,  H01B 1/12 G ,  G03C 1/89 ,  G03F 7/038 601
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM