特許
J-GLOBAL ID：200903011967003155
固体撮像装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026555
公開番号（公開出願番号）：特開平6-244402
出願日： 1993年02月16日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 構造上段差の少ない固体撮像装置を示す。【構成】 光電変換部100と転送部101とから構成される全画素読み出し固体撮像装置において、転送部101が、1層のゲート電極3a,3b,3cと、ゲート電極3bとコンタクト穴8を介して電気的に接続された1層目金属5と、ゲート電極3aと接続された2層目金属配線9とから構成される。【効果】 後工程でのオンチップカラーフィルター形成工程やマイクロレンズ形成工程を安定して行うことができ、色ムラの低減、感度ムラの低減、感度向上を可能とし、さらに、転送不良を無くすことができる。
請求項（抜粋）：
光電変換部と、該光電変換部で発生した電荷信号を転送する少なくとも2組の独立した転送電極と、該転送電極と接続された金属配線とを有する固体撮像装置において、上記転送電極は、互いに重ならないように配設され、上記転送電極の内、少なくとも1組の上記転送電極と接続された上記金属配線が、上記光電変換部を除き上記転送電極上の略全面を覆うと共に、上記転送電極への転送クロック印加、及び、遮光の働きを兼備していることを特徴とする固体撮像装置。
引用特許：
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