特許

J-GLOBAL ID：200903011967705885

反射屈折投影対物レンズ

発明者： デイヴィッド シェイファー ,  アウレリアン ドドック ,  アレキサンダー エップル ,  ヴィルヘルム ウルリッヒ ,  カール・ハインツ シュスター
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-534694
公開番号（公開出願番号）：特表2007-508591
出願日： 2004年10月15日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】 好都合な構造で、像誤差を良好に補正することができる反射屈折投影対物レンズを提供する。【解決手段】 投影対物レンズの物体面上に配置されたパターンを投影対物レンズの像面上に投影するための反射屈折投影対物レンズであって、物体面上にある物体側視野を第1実中間像に投影するための第1対物レンズ部分と、第1対物レンズ部分から到来する放射光線で第2実中間像を生成するための第2対物レンズ部分と、第2対物レンズ部分から到来する放射光線で第3実中間像を生成するための第3対物レンズ部分と、第3実中間像を像面上に投影するための第4対物レンズ部分と、を備える反射屈折投影対物レンズ。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

投影対物レンズの物体面上に配置されたパターンを投影対物レンズの像面上に投影するための反射屈折投影対物レンズであって、 物体面上にある物体側視野を第1実中間像に投影するための第1対物レンズ部分と、 第1対物レンズ部分から到来する放射光線で第2実中間像を生成するための第2対物レンズ部分と、 第2対物レンズ部分から到来する放射光線で第3実中間像を生成するための第3対物レンズ部分と、 第3実中間像を像面上に投影するための第4対物レンズ部分と、 を備える反射屈折投影対物レンズ。

IPC (2件)：

G02B 13/24 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G02B13/24 ,  H01L21/30 515D

Fターム (14件)：

2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA02 ,  2H087RA05 ,  2H087RA13 ,  2H087RA32 ,  2H087TA04 ,  2H087TA06 ,  2H087UA03 ,  5F046BA05 ,  5F046CB03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 投影光学系及び露光装置、デバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-342964   出願人：キヤノン株式会社
• 反射屈折光学系および該光学系を備えた露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-179579   出願人：株式会社ニコン