特許
J-GLOBAL ID：200903011977967438
液晶表示装置用アレイ基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-080806
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294973
出願日： 1993年04月07日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 ゲート電極および配線とガラス基板との密着性に優れ、エッチング残渣が残らない液晶表示装置用アレイ基板を提供する。【構成】 ガラス基板1上に、モリブデン・タンタル合金膜21、モリブデン膜22、アルミニウム膜23およびモリブデン・タンタル合金膜24を積層形成し、4層構造のゲート電極および配線4を形成する。ゲート電極および配線4とガラス基板1との接触部分にモリブデン・タンタル合金膜21を設けたので、ゲート電極および配線4とガラス基板1との密着性が向上する。モリブデン・タンタル合金膜21とアルミニウム膜23との間にモリブデン膜22を形成するため、モリブデン膜22をアルミニウム膜23と同時にエッチングでき、エッチング残渣が出ない。アルミニウム膜23は、モリブデン・タンタル合金膜21により覆い囲まれているため、低抵抗かつ耐薬品性の優れたゲート電極および配線4が得られる。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に形成されたゲート電極および配線と、前記ゲート電極上にゲート絶縁膜を介して形成された半導体膜と、この半導体膜に接して形成されたソース電極およびドレイン電極とを有する薄膜トランジスタを備えた液晶表示装置用アレイ基板において、前記ゲート電極および配線は、前記絶縁性基板上に形成され高融点金属膜からなる第1層と、この第1層上に形成されアルミニウムとともにエッチング可能な高融点金属膜からなる第2層と、この第2層上に形成されアルミニウム膜からなる第3層と、これら第1層ないし第3層を覆う耐薬品性の強い高融点金属膜からなる第4層とを具備したことを特徴とする液晶表示装置用アレイ基板。
IPC (5件)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, G02F 1/1345
, H01L 29/40
, H01L 29/784
