特許
J-GLOBAL ID：200903011990699264
円状パターンの検査装置及びその検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-013106
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206238
出願日： 1992年01月28日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 本発明は円状パターンの検査装置に関し、被検査対象の穴形状不良を目視点検に依存することなく、その取得画像処理に基づいて全穴形状を正確に、かつ、高速に外観検査をすることを目的とする。【構成】 被検査対象16の画像を取得して画像取得データD1を出力する画像取得手段11と、前記画像取得データD1と基準パターンデータD2とに基づいて被検査対象16のパターン認識をする認識手段12と、前記パターン認識結果に基づいて被検査対象16の穴径dを計測する計測手段13と、前記計測結果に基づいて被検査対象16の結果判定をする判定出力手段14とを具備し、前記計測手段13が被検査対象16の穴中心座標O〔x,y〕から円周方向に延伸したセンサ線Lに基づいて半径rを算出することを含み構成する。
請求項（抜粋）：
被検査対象(16)の画像を取得して画像取得データ(D1)を出力する画像取得手段(11)と、前記画像取得データ(D1)と基準パターンデータ(D2)とに基づいて被検査対象(16)のパターン認識をする認識手段(12)と、前記パターン認識結果に基づいて被検査対象(16)の穴径(d)を計測する計測手段(13)と、前記計測結果に基づいて被検査対象(16)の結果判定をする判定出力手段(14)とを具備し、前記計測手段(13)が被検査対象(16)の穴中心座標(O〔x,y〕)から円周方向に延伸したセンサ線(L)に基づいて半径(r)を算出することを特徴とする円状パターンの検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01B 11/24
, G06F 15/62 405
