特許
J-GLOBAL ID：200903011994940888
粒子線装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富村 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-163940
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036371
出願日： 1991年06月07日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】 低いビームエネルギーの場合に高い点解像度を有するような粒子線装置特に走査形電子顕微鏡を提供する。【構成】 第1のレンズ装置KLにより生じた中間像ZBの範囲内に、第1のエネルギーU1 から一層高い第2のエネルギーU2 へ粒子PEを加速する装置SR、REを配置する。
請求項（抜粋）：
粒子線発生器(Q)と、粒子線を集束するための第1のレンズ装置(KL)と、第1のレンズ装置(KL)により生じた中間像(ZB)を試料(PR)上に投影するための第2のレンズ装置(OL)とを備えた粒子線装置において、中間像(ZB)の範囲内に第1のエネルギーから一層高い第2のエネルギーへ粒子(PE)を加速する装置(SR、RE)が配置されていることを特徴とする粒子線装置。
IPC (4件)：
H01J 37/28
, H01J 37/145
, G21K 1/087
, H05H 7/00
