特許

J-GLOBAL ID：200903011995692837

光学多層膜及びその成膜方法

発明者： 内田 真司 ,  是永 継博
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-170119
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027907
出願日： 1993年07月09日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】 分光特性の入射角依存性を従来に比べて大幅に低減可能な光学多層膜を提供する。【構成】 基板10上に、屈折率が約2.5以上の高屈折率の薄膜11(TiO2膜)と、高屈折率の薄膜11よりも屈折率が約0.3小さい低屈折率の薄膜12(Ta2O5膜)を交互に積層して光学多層膜を構成する。【効果】 入射角が変動しても、分光特性のシフトが従来に比べて大幅に低減され、例えばビデオカメラの色分解プリズムとして用いると、シェーディング特性を大幅に改善できる。

請求項（抜粋）：

基板上に、屈折率が2.5以上の高屈折率の薄膜と、前記高屈折率の薄膜よりも屈折率が0.3以上小さい低屈折率の薄膜を主たる構成薄膜として交互に積層した光学多層膜、もしくは、基板上に、屈折率が2.4〜2.5の高屈折率の薄膜と、屈折率が1.65以上であるとともに、前記高屈折率の薄膜よりも屈折率が0.3以上小さい低屈折率の薄膜を主たる構成薄膜として交互に積層した光学多層膜。

IPC (2件)：

G02B 5/04 ,  G02B 1/10