特許
J-GLOBAL ID：200903012000388690

洗浄装置

発明者：
山本 健

山本 健 について

, 
和田 龍一

和田 龍一 について


出願人/特許権者：
アクア化学株式会社

アクア化学株式会社 について


代理人 (1件)： 福島 三雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-215361
公開番号（公開出願番号）：特開平10-034097
出願日： 1996年07月25日
公開日（公表日）： 1998年02月10日
要約：
【要約】【課題】 高純度に蒸留再生された溶剤によって超音波洗浄や蒸気洗浄を実現する高性能の洗浄装置を提供する。【解決手段】 洗浄槽2及びリザーブタンク3と、真空ポンプ7と、加熱状態にある洗浄液を内部に含む蒸気発生槽4と、洗浄槽6の外周部に設けられて洗浄蒸気の供給を受ける保温タンク15と、保温タンク15で液化した洗浄液を蓄えるクリーンタンク16と、クリーンタンク16を経由する洗浄蒸気を凝縮するコンデンサ17と、蒸気発生槽4を所定の減圧状態に維持するエゼクター20と、洗浄槽2に連通されると共に内部に加熱機構を備える蒸気発生器23とを備え、クリーンタンク16から供給される洗浄液が、減圧状態にある蒸気発生器23に噴射されることにより、洗浄槽2に洗浄蒸気が供給されるようになっている。
請求項（抜粋）：
開閉弁を介して互いに連通している洗浄槽及び貯留槽と、前記洗浄槽及び貯留槽を所定レベルまで減圧可能な第1の減圧機構と、適宜な加熱状態にある洗浄液を内部に含む蒸気発生槽と、前記洗浄槽の外周部に設けられ前記蒸気発生槽から洗浄蒸気の供給を受ける洗浄槽保温部と、前記洗浄液保温部において液化した洗浄液を蓄えるクリーンタンクと、前記クリーンタンクを経由する洗浄蒸気を凝縮する凝縮機構と、前記凝縮機構に接続されて前記蒸気発生槽を所定の減圧状態に維持する第2の減圧機構と、前記洗浄槽に連通されると共に内部に加熱機構を備える蒸気発生器とを備え、クリーンタンクから供給される洗浄液が、減圧状態にある前記蒸気発生器に噴射されることにより、前記洗浄槽に洗浄蒸気が供給されるようになっていることを特徴とする洗浄装置。
IPC (2件)：
B08B 3/08 ,  C23G 5/04
FI (2件)：
B08B 3/08 A ,  C23G 5/04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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