特許
J-GLOBAL ID:200903012008989609

粒子経路決定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 頓宮 孝一 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-082501
公開番号(公開出願番号):特開平6-094596
出願日: 1992年04月03日
公開日(公表日): 1994年04月05日
要約:
【要約】【目的】 本発明の目的は、位相シフト信号及び消光信号の両方を使って粒子の軌跡を決定する、明視野粒子位置決定用光学系を提供することである。【構成】 1対の直角偏光光線を、粒子の流れ経路と鋭角で交差する軸に沿って位置決めする。光学系は、両方の光線が流れ経路を出た後、両光線を再結合する。結合された光線は、粒子が両光線の一方と交差した場合、楕円偏光を示す。明視野検出器は、合成光線の偏光成分を検出し、光線の直交成分間の位相シフト信号を発生し、対応する信号をプロセッサに提供する。プロセッサは、位相シフト信号から、流れ経路中の粒子の位置を示す、信号の非対称性を決定する。さらに、粒子を横切って1本または複数の光線を循環的に移動させるディザ・システムを使用して、粒子の軌跡または位置を決定することができる。
請求項(抜粋):
決定可能な方向をもつ流れ経路内での粒子の位置を決定するための装置であって、最初は互いにコヒーレントであるが偏光が異なる、第1及び第2の実質的に平行な光線を前記流れ経路に送る手段であって、前記第2光線が、前記の決定可能な方向と鋭角のねじれ角で交差する軸に沿って前記第1光線からずれており、光線中を通過する粒子が、前記光線の光学軸からの粒子の距離が増加するにつれて減少する位相シフトを前記光線内で誘発するという光線伝達手段と、前記流れ経路から離れた後に前記両光線がとる経路内に位置する、前記両光線を結合するための再結合手段であって、前記光線内の位相シフトにより前記の結合された光線が第1及び第2の偏光軸をもつ楕円偏光を示すという再結合手段と、前記両楕円偏光軸の一方の強度を感知して位相シフト信号を提供する検出器手段と、粒子が前記流れ経路内で前記の第1及び第2の光線を通り抜けて移動したことから生ずる位相シフト信号を蓄積し、前記第2の光線から導出された位相シフト信号から前記第1の光線から導出された位相シフト信号を減算して、前記流れ経路内の前記粒子の位置を示す非対称値を決定するための処理手段とを含む装置。
IPC (2件):
G01N 15/14 ,  G01P 11/00

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