特許

J-GLOBAL ID：200903012012360669

洗浄物質表面の脱脂度測定方法

発明者： 伊藤 速緒
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-248020
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090155
出願日： 1996年09月19日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 正確に簡便に洗浄後の物質表面の脱脂度を評価することができる洗浄物質表面の脱脂度測定方法を実現する。【解決手段】 液滴コントロール部14から複数種類のぬれ試薬を一定量サンプル11の表面に滴下する。このぬれ試薬はサンプルの脱脂度に応じてサンプ表面で広がる。所定時間経過後、ステージ12を移動させ、ぬれ試薬が滴下されたサンプル領域がビデオカメラ15の撮像視野内に入るようにする。この状態でビデオカメラ15によりぬれ試薬の広がりを撮像する。ビデオカメラ15の映像信号は、制御装置13に供給される。制御装置13は映像信号に基づいて各ぬれ試薬の面積を測定する。この面積から、予め制御装置に格納された面積と脱脂度との変換テーブルにより制御装置13はサンプル表面の脱脂度を求め、その値を表示装置16によって表示する。

請求項（抜粋）：

洗浄された物質表面にぬれ試薬を滴下させ、所定時間経過後のぬれ試薬の広がった面積を求めることにより、洗浄物質表面の脱脂度を測定するようにした洗浄物質表面の脱脂度測定方法。