特許

J-GLOBAL ID：200903012021613677

圧力センサ

発明者： 仲村 秀世 ,  古川 雅晴
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-286794
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118653
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】圧力変化に対して連続出力を出力し、小型で低価格で高精度であり、更に、火災時等の高温でも気密不良を発生しない圧力センサを提供する。【解決手段】Fe-Ni-Co合金板からなる金属ベース11の導圧孔115 の上面を覆って、台座7付きセンサチップ6が多成分系の可溶性ポリイミドブロックポリマーで接着され、下面を覆って、鉄板の絞り加工による導圧口12c 付き導圧部材12が抵抗溶接されている。金属ベース11上には樹脂ケース13が固定され、樹脂ケース13には回路部品を搭載したプリント基板5が内包され、樹脂ケース13上にはキャップ3がはめ込まれ、キャップ3には銘板4が張られている。

請求項（抜粋）：

圧力センサチップと、その出力を演算処理する演算回路や特性を調整する調整用抵抗などを搭載した回路部材と、内面の一部に圧力センサチップを搭載し、内面の他の部分に回路部材を搭載し、圧力センサチップを搭載した部分の外側に測定圧力を導入する導圧部材を有するケースとを備えた圧力センサにおいて、圧力センサチップは、金属板からなり導圧孔を有する金属ベースに搭載され、この金属ベースの圧力センサチップ搭載面とは反対側の面に、導圧孔を覆って、金属板の絞り加工によって形成された導圧部材が溶接されており、圧力センサチップと金属ベースとが、少なくとも350 °Cまでは気密性を維持できる接合手段によって接合されていることを特徴とする圧力センサ。