特許
J-GLOBAL ID：200903012022733366
チップの観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-196643
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043102
出願日： 1992年07月23日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 明るい背景の中にチップのリードを暗く観察することと、暗い背景の中に明るく観察することを選択できるチップの観察装置。【構成】 分光特性の異なる複数種の光を照射する光源8を設け、また各々の光に対する透過率の異なるフィルター3や光反射板2を設ける。光源8の光を切替えると、リードLやリードLの背後にある光反射板2の明暗が切替わるので、明るい背景の中にリードLを暗く観察することと、暗い背景の中にリードLを明るく観察することを選択できる。
請求項（抜粋）：
ノズルの下端部に真空吸着されたチップの背後に配置された光反射板と、この光反射板の下部にこの光反射板に重ねて配置されて複数種の光に対する透過率の異なるフィルターと、このフィルター及び光反射板へ向かって複数種の光を照射する光源と、この光の種類を切替える切替手段と、前記フィルター及び光反射板に透過・反射された光が入射することにより前記チップの電極を観察するカメラとを備えたことを特徴とするチップの観察装置。
IPC (2件)：
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