特許

J-GLOBAL ID：200903012034721169

検査装置

発明者： 長坂 昭吾 ,  大西 正泰
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-324866
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146858
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 検査対象物の内部欠陥と表面欠陥とを区別して検出することができ、また内部に集積レンズのような光を回折させるような層が存在していても正確に欠陥を検出することができる検査装置を提供する。【解決手段】 透過光光源22から照射された可視光は、ガラス基板1を透過し、投影レンズ23で集光されて受光素子25に受光される。受光素子25に入射する可視光の走査位置は、光スキャナ24によってガラス基板1を走査される。反射光光源27から照射された赤外光は、ガラス基板1の表面で反射し、受光素子29に受光される。受光素子29に入射する赤外光の走査位置は、光スキャナ28によってガラス基板1を走査される。そして、両受光素子25、29で受光された光の明暗を判別することにより、内部欠陥や表面欠陥、ゴミ付着等を判別する。

請求項（抜粋）：

光透過性を有し、表面に透明膜を有する物体を検査するための検査装置であって、前記物体を透過した光を受光する第1の受光素子と、前記物体の表面で反射した光を受光する第2の受光素子と、前記第1の受光素子の出力と前記第2の受光素子の出力に基づいて前記物体の欠陥の種類を判別する判別手段と、を備えた検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00

FI (2件)：

G01N 21/88 650 ,  G01M 11/00 T

Fターム (23件)：

2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA06 ,  2G051BA20 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC13 ,  2G051CD04 ,  2G051EA02 ,  2G051EA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G086EE04 ,  2G086EE10 ,  2G086FF05 ,  2G086GG03