特許
J-GLOBAL ID：200903012042787209
赤外線透過窓の封着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-316659
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147971
出願日： 1992年10月31日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】 赤外線透過窓を透過窓取付け容器に対して高い気密性と信頼性をもって封着することができる赤外線透過窓の封着方法を提供すること。【構成】 シリコン基板1の表面の一部に適宜の間隔をあけてアルミニウムとシリコンとの共晶合金層5を形成し、この共晶合金層5の表面にクローム、銅、金をこの順で積層してメタライズ部分7を形成した後、前記シリコン基板1のメタライズされてない部分に、高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層したフィルタ層9を形成して、赤外透過部分9がメタライズ部分7に囲まれてなる赤外透過窓11を形成した後、この赤外透過窓11を、前記フィルタ層形成物質よりも融点が低いハンダ12を用いて透過窓取付け容器13に封着するようにした。
請求項（抜粋）：
シリコン基板の表面の一部に適宜の間隔をあけてアルミニウムとシリコンとの共晶合金層を形成し、この共晶合金層の表面にクローム、銅、金をこの順で積層してメタライズ部分を形成した後、前記シリコン基板のメタライズされてない部分に、高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層したフィルタ層を形成して、赤外透過部分がメタライズ部分に囲まれてなる赤外透過窓を形成した後、この赤外透過窓を、前記フィルタ層形成物質よりも融点が低いハンダを用いて透過窓取付け容器に封着するようにしたことを特徴とする赤外線透過窓の封着方法。
IPC (2件)：
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