特許
J-GLOBAL ID:200903012043251140

液晶表示素子におけるストライプ電極パターンの検査方法及び検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡辺 喜平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-164360
公開番号(公開出願番号):特開平5-333357
出願日: 1992年05月29日
公開日(公表日): 1993年12月17日
要約:
【要約】【目的】 簡単な構成で基板上のストライプ電極パターンの断線とショートを同時に検出できるようにする。【構成】 被検査対象となるストライプ電極パターン2の一端に接触される電圧印加用のコンタクトプローブ3と、ストライプ電極パターン2の他端に接触される第一の電圧検出用のコンタクトプローブ4と、ストライプ電極パターン2と隣り合う電極パターンに接触される第二の電圧検出用のコンタクトプローブ5と、電圧印加用のコンタクトプローブ3に電圧を印加する検査電圧印加回路6と、ストライプ電極パターン2の断線の有無を第一の電圧検出用のコンタクトプローブ3からの検出出力に基づいて検出するとともに、ストライプ電極パターン2のショートの有無を第二の電圧検出用のコンタクトプローブ5からの検出出力に基づいて検出する欠陥検出回路8とを有し、三本のコンタクトプローブ3,4,5をストライプ電極パターン2の配列方向に接触走査しながら、基板1上の全てのストライプ電極パターン2の欠陥を検査する。
請求項(抜粋):
液晶表示素子を構成する電極付き基板に配列形成されている複数本のストライプ電極パターンの断線及びショートの欠陥を検査する検査方法において、被検査対象となるストライプ電極パターンの一端に、電圧印加用のコンタクトプローブを接触させて電圧を印加し、この電圧印加用のコンタクトプローブを接触させた同一ストライプ電極パターンの他端に第一の電圧検出用のコンタクトプローブを接触させて、このストライプ電極パターンの断線の有無を第一の電圧検出用のコンタクトプローブからの検出出力に基づいて検出し、上記被検査対象のストライプ電極パターンと隣り合うストライプ電極パターンに第二の電圧検出用のコンタクトプローブを接触させて、上記被検査対象のストライプ電極パターンのショートの有無を第二の電圧検出用のコンタクトプローブからの検出出力に基づいて検出し、これら三本のコンタクトプローブをストライプ電極パターンの配列方向に接触走査することで基板上のストライプ電極パターンの欠陥を検査することを特徴とした液晶表示素子におけるストライプ電極パターンの検査方法。
IPC (4件):
G02F 1/1343 ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/02 ,  G09G 3/18

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