特許
J-GLOBAL ID：200903012050697480
圧電構造体の製造方法および複合圧電振動子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-196133
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028595
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 微細に加工された圧電構造体を製造することが可能な圧電構造体の製造方法を提供する。【解決手段】 圧電体ブロックをエッチング用ガスのプラズマを用いて選択的にエッチングすることを特徴とする圧電構造体の製造方法。
請求項（抜粋）：
圧電体ブロックをエッチング用ガスのプラズマを用いて選択的にエッチングすることを特徴とする圧電構造体の製造方法。
IPC (8件)：
G01N 29/24 502
, A61B 8/00
, G03F 7/40 521
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H03H 3/02
, H04R 17/00
, H01L 21/3065
G01N 29/24 502
, A61B 8/00
, G03F 7/40 521
, H03H 3/02 B
, H04R 17/00
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
, H01L 21/302 F
