特許

J-GLOBAL ID：200903012055701206

微分干渉顕微鏡

発明者： 岩崎 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-077805
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271630
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】 小型で消費電力の小さい微分干渉顕微鏡を低コストで提供する。【解決手段】 光源からの光はノマルスキープリズムによって偏光成分の異なる2つの光に分割されたあと被検物体に照射され、被検物体からの反射光は再びノマルスキープリズムで合成されて偏光フィルターに入射する。偏光フィルターは入射光から2つの偏光成分を選択して二次元イメージセンサへと送る。二次元イメージセンサは、偏光フィルターで選択された一方の偏光成分を隣接する一対の画素の一方で受光し、選択された他方の偏光成分を一対の画素の他方で受光する。画像形成装置は、一対の画素から出力される画像信号に基づいて被検物体の微分干渉像を形成する。

請求項（抜粋）：

光源からの光を偏光成分の異なる2つの光に分割して被検物体に射出し、前記被検物体からの前記2つの光を合成する複屈折プリズムと、前記複屈折プリズムで合成された光から、第1の偏光成分と、前記第1の偏光成分と交差する第2の偏光成分とを選択する偏光板と、複数の画素で構成され、前記偏光板で選択された前記第1の偏光成分を、互いに隣接する画素の一方で受光し、前記偏光板で選択された前記第2の偏光成分を、前記互いに隣接する画素の他方で受光するセンサと、前記隣接する画素から出力されるそれぞれの画像信号に基づいて、前記被検物体の微分干渉像を形成する画像形成装置とを備えた微分干渉顕微鏡。

IPC (6件)：

G02B 21/00 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/27 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/36

FI (6件)：

G02B 21/00 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/00 G ,  G01N 21/27 E ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/36