特許

J-GLOBAL ID：200903012060515216

感放射線性樹脂組成物

発明者： 岩永 伸一郎 ,  小林 英一 ,  田辺 隆喜 ,  河口 和雄
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-221190
公開番号（公開出願番号）：特開平11-143079
出願日： 1998年08月05日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 各種の放射線に感応し、感度、解像度が優れるとともに、定在波の影響が少なく、パターン形状にも優れ、かつ高度の耐熱性を有する化学増幅型ポジ型レジストとして感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)(a)重合性の炭素-炭素二重結合を1個有する単量体に由来する繰返し単位(I)と、(b)重合性の炭素-炭素二重結合を2個以上と、酸の作用により分解する2価のエステル基および/またはカーボネート基を少なくとも1個とを有する単量体であって、各炭素-炭素二重結合が前記2価の基を介して連結した構造を有する単量体に由来する繰返し単位(II) とを含有する共重合体、および(B)感放射線性酸発生剤を含有する。

請求項（抜粋）：

(A)(a)重合性の炭素-炭素二重結合を1個有する単量体の該炭素-炭素二重結合が開裂して得られる繰返し単位(I)と、(b)重合性の炭素-炭素二重結合を2個以上有し、かつ酸の作用により分解する下記構造式(1)または構造式(2)で表される2価の基を少なくとも1個有する単量体であって、各炭素-炭素二重結合が前記2価の基を介して連結した構造を有する単量体の該炭素-炭素二重結合が開裂して得られる繰返し単位(II) とを含有する共重合体、および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】【化2】〔構造式(1)および構造式(2)において、R1 、R2 、R3 およびR4 は相互に独立に炭素数1〜5のアルキル基または炭素数6〜14のアリール基を示す。〕

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-241355