特許

J-GLOBAL ID：200903012069392761

液面検出装置

発明者： 内田 良彦 ,  松園 賢一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-242339
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090038
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 液面検出媒体の通気管の詰まりを防止し、安全で作業性よく通気性回復ができ、これによりタンク内の液面高さを安定した精度で検出する。【解決手段】 タンク28内の薬液に一方側の開放端部が浸され、他方側から気体が一定な圧力Ps で供給される気体供給管34と、薬液面の高さに応じて変化する気体供給管34の内圧を検出する圧力検出手段38と、気体供給管34の内部に供給される気体の供給圧を、例えば一定圧Ps から高圧Ph (高圧エア)に切り換える切換手段42とを有する。この切換は、制御部41による自動化が可能である。切換手段42は、電磁弁又は圧力調整弁等から構成でき、また、圧力検出手段38を保護する必要がある場合は、気体供給管34から分岐した検出管36に遮断手段46を設けるとよい。一方、同様な目的で液体(薬液の溶剤等)も導入できるように構成してもよい。

請求項（抜粋）：

タンク内の薬液に一方側の開放端部が浸され、他方側から気体が一定な圧力で管内部に供給される気体供給管と、前記薬液の液面の高さに応じて変化する気体供給管の内圧を検出する圧力検出手段と、を有する液量検出装置であって、前記気体供給管の内部に供給される気体の供給圧を切り換える切換手段を有する液面検出装置。

IPC (3件)：

G01F 23/14 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

G01F 23/14 ,  H01L 21/304 341 S ,  H01L 21/306 J