特許

J-GLOBAL ID：200903012076262520

基板保持装置

発明者： 尾形 全 ,  山本 純正 ,  久保 博義
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-357049
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196381
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】 ウエハチャックに吸着されたウエハの平面度がゴミ等の異物の介在によって損われるのを防ぐ。【構成】 表面1aにウエハW1 を吸着したウエハチャック1は、裏面1bに複数のピン状の裏面突起3を有し、各裏面突起3の頂部が、露光装置等の支持板2の支持面2aに接触する。ウエハチャック1と支持板2の間にゴミ等の異物が介在しても、これによってウエハW1 の平面度が損われるおそれが少ない。

請求項（抜粋）：

基板を吸着する基板保持盤と、これを支持する支持板からなる基板保持装置であって、前記基板保持盤と前記支持板のうちの少くとも一方が、他方と接触する側の表面に突出部分を有することを特徴とする基板保持装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B65G 49/07 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-094325
  
• 特開平4-152512
  
• 特開昭61-105841