特許
J-GLOBAL ID：200903012080067767
プリント基板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-295887
公開番号（公開出願番号）：特開平5-133907
出願日： 1991年11月12日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】[目的] 装置を大きくせず占有面積が小さく、かつ記憶容量として大きなメモリーを必要としないプリント基板の検査装置を提供すること、およびプリント基板の製造の際の伸縮問題に対し、そのずれ量を適切に補正しながらパターンの比較ができるプリント基板の検査装置を提供すること。[構成] 検査対象であるプリント基板2と前記原画フィルム5の間に、可視光に対してフィルター効果を有する薄膜3をその片面に設けられた透明板4を配してこれらを重ね、異なる光源と光学系を用いてパターン1とパターン6を検出し、これら検出結果を比較することによってプリント基板2の欠陥を検査するようにした装置であって、前記原画フィルムの四隅の長方形をなす位置に基準位置マークP1〜P4を配設し、この四個の基準位置マークの原画フィルム上の位置とプリント基板上の位置のずれ量を測定し、欠陥判定の際に各パターン位置に対してずれ量を補正しながら比較するようにしたことを特徴とするプリント基板検査装置。
請求項（抜粋）：
原画フィルム上に施された電気回路の形状に基づいて、これを板状の絶縁物の表面に印刷することにより作成されるプリント基板の検査装置において、検査対象であるプリント基板と前記原画フィルムの間に、可視光に対してフィルター効果を有する薄膜をその片面に設けられた透明板を配してこれらを重ね、前記原画フィルムに対しては可視光光源を用いた光学系でパターンを検出し、かつ前記プリント基板に対しては可視光以外の光源を用いた光学系でパターンを検出して、これら検出結果を比較することによってプリント基板の欠陥を検査するようにした装置であって、前記原画フィルムの四隅の長方形をなす位置に基準位置マークを配設し、この四個の基準位置マークの原画フィルム上の位置とプリント基板上の位置のずれ量を測定し、このずれ量からプリント基板上の任意の位置のずれ量を求め、欠陥判定の際に各パターン位置に対してずれ量を補正しながら比較するようにしたことを特徴とするプリント基板検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, H05K 3/00
