特許

J-GLOBAL ID：200903012081159045

複数の可変成形電子ビ-ムを使用してパタ-ンを直接書き込むシステムおよび方法

発明者： テモシー・アール・グルーブズ ,  ロドニー・エイ・ケンドール
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-002761
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265071
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】 リソグラフィ技法によって製造されるウエハ上に平行に書込みを行う別々に制御可能な小形成形ビーム電子ビーム・システムを含むいくつかのモジュールを有する直接書込み電子ビーム装置を提供すること。【解決手段】 多重ビーム直接書込み電子ビーム・システムは平行に作用する1組の小形ビーム書込みモジュール100を使用する。各小形ビーム書込みモジュール100は、均一な磁界と均一な平行電界の組合せを使用して、低輝度電子放出表面のイメージを形成し、かつまた最初は正方形のビームの形状を修正し、それにより別々にかつ独立して修正される1組のビームをつくり出す。電子放出エミッタ、ビーム成形偏向電極および精密偏向電極がマイクロリソグラフィ技法によって形成される。

請求項（抜粋）：

z軸に対して垂直な電子源平面から前記z軸に対して垂直な工作物平面まで延びる前記z軸に対して平行な実質上均一な磁界を確立する手段と、前記電子源平面内の前記z軸上のエミッタ位置に且つ前記z軸に対して垂直なy軸に沿って電子源間隔だけ分離した電子源位置に配置された少なくとも2つの電子放出源の少なくとも1つの列を含み、前記z軸に対して平行な1組の少なくとも2つのビーム軸に沿って前記工作物平面に向けて導かれる少なくとも1組の少なくとも2本の電子ビームを生成するエミッタ・アレイと、ビーム成形平面内の成形位置に前記z軸に沿って配置された少なくとも2つのビーム成形アパーチャの少なくとも1つの列の成形アレイであって、前記y軸に沿って前記電子源間隔で配置され、かつ前記エミッタ・アレイ中の対応する電子源と整合する成形アレイと、前記電子源平面と前記ビーム成形平面の間に延び、前記z軸に対して平行な平行電界を生成する第1の電界手段であって、前記平行電界および前記磁界が互いに関連しかつ前記エミッタ位置および前記成形位置に関連する大きさを有し、それにより前記1組の平行なビームが前記ビーム成形平面に前記電子源の1組のイメージを形成する第1の電界手段と、前記電子源平面と前記ビーム成形平面の間のビーム成形偏向器領域中に配置された少なくとも2つの偏向器電極の少なくとも1つの列のビーム成形偏向器アレイであって、ビーム成形アパーチャが前記y軸に沿って前記電子源間隔を置いて配置され、かつ前記エミッタ・アレイ中の対応する電子源と整合し、前記ビーム成形偏向器アレイの前記偏向器電極が、前記1組の電子ビームの個々の電子ビームを偏向させる1組のビーム成形偏向器駆動手段に電気的に接続され、それにより対応するビーム成形アパーチャに対する前記1組の電子ビームの個々の電子ビームの偏向が成形されたビームのアレイを形成するビーム成形偏向器アレイと、前記z軸に沿って前記ビーム成形平面と前記工作物平面の間に前記y軸に対して平行に配置され、かつ前記少なくとも1つの列のうちの第1の列における前記1組の電子ビームの少なくとも2本の電子ビームを前記y軸および前記z軸に対して直角なx軸に沿ってまとめる少なくとも2つの平行偏向器電極の少なくとも1つの列の偏向器アレイと、前記偏向器アレイに電気的に接続され、前記x軸に対して平行な少なくとも1組の偏向電界を確立し、前記第1の列の前記1組の電子ビームの前記少なくとも2本の電子ビームを前記y軸に沿った偏向範囲内で平行に偏向させる第2の電界手段であって、前記1組の平行ビームが前記電子源の1組のイメージを前記工作物平面に形成するように、前記偏向電界および前記磁界が互いに関連し、かつ前記成形位置および前記工作物平面の前記z軸上の工作物位置に関連する大きさを有し、前記1組のイメージが前記y軸に沿って実質上均一なイメージ間隔を置いて前記工作物平面を横切り、それにより前記1組の電子ビームの前記少なくとも2本の電子ビームがすべて平行な経路中を進み、前記平行な経路が前記電子源平面と前記ビーム成形平面の間で前記z軸に対して平行であり、前記平行な経路が、前記ビーム成形平面と前記工作物平面の間で前記z軸に対して共通の角度を有する第2の電界手段と、前記1組の電子ビームの下で工作物を支持し、かつ動かすステージ手段と、1組のサブフィールドを前記工作物上に平行に書き込むために前記ステージ手段と同期して前記1組の電子ビームを制御するシステム制御手段とを含む直接書込み電子ビーム・システム。

IPC (4件)：

G03F 7/20 504 ,  H01J 37/065 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/20 504 ,  H01J 37/065 ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 B