特許

J-GLOBAL ID：200903012088571677

照明装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 三上 晃司 ,  早田 滋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-361593
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204122
出願日： 1992年12月29日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 パターン形状の方向や線幅等により最適な照明系を選択して高解像力の投影露光が可能な半導体素子の製造に好適な照明装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【構成】 発光部からの光束を反射手段で集光し、光学系を介して被照射面を照明する際、該反射手段は該発光部からの光束を集光面に光軸上に比べて光軸外領域の方が強い照度分布となるように集光する光学作用を有していること。

請求項（抜粋）：

発光部からの光束を反射手段で集光し、光学系を介して被照射面を照明する際、該反射手段は該発光部からの光束を集光面に光軸上に比べて光軸外領域の方が強い照度分布となるように集光する光学作用を有していることを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S ,  H01L 21/30 311 L