特許
J-GLOBAL ID：200903012090794748
荷電粒子ビーム露光方法及び装置並びにこれらに用いられるチャージアップ補正用関数の決定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-108229
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293671
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】チャージアップによる荷電粒子ビームのドリフトを補正する。【解決手段】荷電粒子ビーム13をドリフトさせるチャージアップの原因量を検出し、この原因量の増分に応じて増加(コンタミネーションの充電)し且つ時間tの増分に応じて減少(コンタミネーションの放電)する補正値を決定し、ドリフトを低減するために補正値により偏向器駆動信号を補正する。原因量として、荷電粒子ビーム照射により半導体ウェーハへ流れる電流のうちローパスフィルタを通過した量に偏向量のファクターを乗じた値、又は、2次電子検出器の出力信号のうちローパスフィルタを通過し量に偏向量のファクターを乗じた値を用いる。補正値Cを時間Δt経過毎に更新し、時点t+Δtでの補正値Ci+1を、式Ci+1=Ci+(A・I-Ci)Bにより算出する。ここに、Ciは時点tでの補正値であり、A及びBは原因量Iの関数である。関数A及びBは、この式に基づいて定める。
請求項（抜粋）：
偏向器に駆動信号を供給して荷電粒子ビームを走査しながら該荷電粒子ビームを対象物に照射する荷電粒子ビーム露光方法において、該荷電粒子ビームをドリフトさせるチャージアップの原因量Iを検出し、該原因量Iの増分に応じて増加し且つ時間tの増分に応じて減少する補正値Cを決定し、該ドリフトを低減するために該補正値Cにより該駆動信号を補正する、ことを特徴とする荷電粒子ビーム露光方法。
FI (2件)：
H01L 21/30 541 D
, H01L 21/30 541 N
