特許
J-GLOBAL ID：200903012092823532
弾性表面波溶液センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-055765
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256753
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】【目的】 SH-SAWデバイスによる高精度、小型化可能な、導電率、pH、水質モニタ用等の溶液センサを実現する。【構成】 圧電体SHモード弾性表面波センサであって、SH-弾性表面波の伝搬面上に電気的短絡aと電気的開放bとを設ける。
請求項（抜粋）：
SHモード弾性表面波デバイスであって、SH-弾性表面波の伝搬面上に電気的短絡と電気的開放とを設けてなることを特徴とする弾性表面波溶液センサ。
引用特許：
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