クリーンルーム用保管庫

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-012311
公開番号（公開出願番号）：特開平5-201506
出願日： 1992年01月27日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：

【要約】【目的】ウエハ等を気密性のコンテナに収納して保管するものにおいて、コンテナの汚染に起因するウエハ等のパーティクル汚染等を防ぐことのできるクリーンルーム用保管庫を提供することを目的とする。【構成】 1もしくは複数の保管ユニット10、この保管ユニットの各保管セクションSに対して保管物を出し入れする移載機構を搭載した自動移載装置とを備え、クリーンルーム内に設けられる保管庫において、上記出し入れされる保管物はパーティクル汚染もしくはおよび化学汚染を嫌う物品Wを気密に収納可能で蓋施錠機構を有するコンテナ40であり、当該コンテナに対して上記物品を自動的に出し入れする装置30を備えるとともにコンテナ自動洗浄部50を備えていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

1もしくは複数の保管ユニットと、この保管ユニットの各保管セクションに対して保管物を出し入れする移載機構を搭載した自動移載装置とを備え、クリーンルーム内に設けられる保管庫において、上記出し入れされる保管物はパーティクル汚染もしくは/および化学汚染を嫌う物品を気密に収納可能で蓋施錠機構を有するコンテナであり、当該コンテナに対して上記物品を自動的に出し入れする装置を備えるとともにコンテナ自動洗浄部を備えていることを特徴とするクリーンルーム用保管庫。

IPC (6件)：

B65G 1/02 , A47B 81/00 , B08B 3/02 , B65G 1/04 , F24F 7/06 , F26B 9/00

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭63-022405
特開昭63-022405
特開平3-287353

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