描画装置および描画位置の補正方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福島祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-344580
公開番号（公開出願番号）：特開平11-174693
出願日： 1997年12月15日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】主走査方向における光ビームの描画位置のずれを実時間で補正することが可能な描画装置および描画位置の補正方法を提供することである。【解決手段】テーブル3をY軸方向に移動させつつレーザ照射器2からレーザビーム30を感光材100に照射し、主走査方向に走査させる。CCDカメラ6はレーザビーム30の反射光30aをハーフミラー7を介して入射させ、レーザビーム30の像を画像データとして取り込む。画像処理器17は、CCDカメラ6からの画像データに基づいて各ドットの主走査方向における描画位置を検出し、検出したドットの描画位置と当該ドットの理論位置とのずれ量を求める。描画制御器12は、求めたずれ量に応じて後続の主走査時にレーザ照射器2からのレーザビーム30の点灯タイミングを補正する。

請求項（抜粋）：

光ビームにより描画対象物に描画を行なう描画装置であって、光ビームを所定のドットピッチで点灯または消灯させながら主走査方向に走査させる光ビーム走査手段と、前記光ビーム走査手段と前記描画対象物とを相対的に副走査方向に移動させる移動手段と、前記光ビーム走査手段により前記描画対象物に走査された光ビームを撮像して画像データとして取り込む撮像手段と、前記撮像手段により取り込まれた前記画像データに基づいて主走査方向における所定のドットの描画位置を求め、前記所定のドットが形成されるべき主走査方向の理論位置からの前記描画位置のずれを検出する検出手段と、前記検出手段により検出された前記描画位置のずれに基づいて、後続の主走査時に前記光ビーム走査手段による主走査方向における描画位置を補正する補正手段とを備えたことを特徴とする描画装置。

IPC (3件)：

G03F 9/00 , B41C 1/05 , G03F 1/08

FI (3件)：

G03F 9/00 A , B41C 1/05 , G03F 1/08 C

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