薬液供給容器用キャップユニットおよび薬液供給装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-015774
公開番号（公開出願番号）：特開平10-211451
出願日： 1997年01月29日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】容器内の薬液を無駄なく使用できるとともに、薬液を各種処理装置に確実に供給できる薬液供給装置を提供する。【解決手段】薬液を収容する容器2と、容器2を置くベースユニット4と、容器2の蓋となるキャップユニット3と、表示ボックス5とから構成されている。ベースユニット4は、容器2を斜めに傾けて載置するフレーム10と、液面検知センサー12を有している。キャップユニット3は、キャップ本体16と薬液を吸い上げるためのパイプ17を有しており、パイプ17はその先端が斜めに傾いた容器2の最下部に位置するように屈曲している。また、キャップユニット3とベースユニット4には、ベースユニット4上の容器2の向きを定めるための固定棒19とフック部14がそれぞれ設けられている。

請求項（抜粋）：

処理装置に供給すべき薬液が収容され、斜めに傾いた状態で載置される薬液供給容器の口部に装着されるキャップユニットであって、前記薬液供給容器の蓋となるキャップ本体と、このキャップ本体に固定され、前記薬液供給容器内の薬液を吸い上げるための剛性を有する材料で形成されたパイプを有し、前記薬液供給容器に装着された状態で前記パイプ先端の吸込口が斜めに傾いた薬液供給容器の最下部に位置するように前記パイプが屈曲していることを特徴とする薬液供給容器用キャップユニット。

IPC (4件)：

B05B 9/04 , B01J 4/00 103 , B65D 83/00 , H01L 21/027

FI (4件)：

B05B 9/04 , B01J 4/00 103 , B65D 83/00 L , H01L 21/30 564 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-195328
特公昭31-010693
耐食性バルブを有するエアゾール容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-033549 出願人：大阪エヤゾール工業株式会社

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