特許

J-GLOBAL ID：200903012132350160

In2O3-ZnO焼成用セッター及びこれを用いたIn2O3-ZnO成形体の焼成方法

発明者： 白石 真也 ,  大日向 義宏
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-218461
公開番号（公開出願番号）：特開平11-060339
出願日： 1997年08月13日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：

【要約】【課題】 IZO焼結体の組成むらや組成ずれを生じることなく焼結密度を安定して増大させる。【解決手段】 ZnAl2O4からなるセッター上に酸化インジウム-酸化亜鉛系の組成物成形体を載せて1400°Cを超えた1500°Cまでの温度で焼成する。

請求項（抜粋）：

ZnAl2O4からなるIn2O3-ZnO焼成用セッター。

IPC (5件)：

C04B 35/64 ,  C04B 35/453 ,  C04B 35/101 ,  C23C 14/34 ,  F27D 3/12

FI (5件)：

C04B 35/64 J ,  C23C 14/34 A ,  F27D 3/12 S ,  C04B 35/00 P ,  C04B 35/10 F