特許

J-GLOBAL ID：200903012132382810

異質材部を有するセラミツクグリーンシート並びにセラミツク積層体部品の製造方法

発明者： 宮内 栄作 ,  吉田 政幸 ,  山本 洋 ,  佐々木 俊幸 ,  渡辺 源一 ,  須藤 純一 ,  佐々木 智之 ,  大家 龍一
出願人/特許権者： テイーデイーケイ株式会社
代理人 (1件)： 竹下 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-302530
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114531
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 主としてシート法を適用し、積層体の内部に形成される電極部の接続用として導電性材料を充填形成するのに適用可能とし、セラミック積層体部品のファイン化,機能向上を目的として形成される異質材部を能率よく充填形成する。【構成】 感光性樹脂とセラミック粉末とを含有する基材ペーストで部品基体となるグリーンシート1を形成し、そのシート面に所定の透光パターンを有するフォトマスキング11による光線照射で露光部2aを形成後、現像除去して所定パターンの抜き穴2をグリーンシート1のシート面に形成し、その抜き穴2にグリーンシート1と同時焼成可能で異質材料を含有する異質材ペーストを充填して異質材部3を有するグリーンシートとして形成し、このグリーンシートの異質材部3を含む所定個所に導電性材料を含有する導電ペーストを付着して少なくとも電極部となる導電パターン4をグリーンシート1のシート面に形成する。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂とセラミック粉末とを含有する基材ペーストで部品基体となるグリーンシートを形成し、そのグリーンシートのシート面に所定の透光パターンを有するフォトマスキングによる光線照射で露光部を形成し、この露光部を現像除去して所定パターンの抜き穴をグリーンシートのシート面に形成し、その抜き穴にグリーンシートと同時焼成可能で材質の異なる異質材料を含有する異質材ペーストを充填して異質材部を有するグリーンシートとして形成し、このグリーンシートの異質材部を含む所定個所に導電性材料を含有する導電ペーストを付着して少なくとも電極部となる導電パターンをグリーンシートのシート面に形成するようにしたことを特徴とする異質材部を有するセラミックグリーンの製造方法。