特許

J-GLOBAL ID：200903012135059858

アルカリ可溶性重合体及び感光性樹脂組成物

発明者： 大江 靖
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-041150
公開番号（公開出願番号）：特開2002-241440
出願日： 2001年02月19日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】アルカリ水溶液を用いて現像可能な、高感度、高解像度を有し、さらに、タックフリーで、耐熱性、耐エッチング性、保存安定性も良好で、しかもエッチングレジストとして用いた場合に容易に除去できる感光性樹脂組成物及びその構成成分であるアルカリ可溶性樹脂を提供する。【解決手段】カルボキシル基を有するセグメントを含む共重合体に、一分子中に1個以上のエチレン性二重結合とイソシアナート基を有する化合物を反応させて得られる側鎖にビニル基とカルボキシル基を有するアルカリ可溶性重合体と、エチレン性二重結合を有する化合物及び、光重合開始剤とからなることを特徴とする感光性樹脂組成物を提供する。

請求項（抜粋）：

カルボキシル基を有するセグメントを含む下記一般式(1)で表される変性重合体からなるアルカリ可溶性重合体。【化1】

IPC (9件)：

C08F220/12 ,  C08F 2/50 ,  C08F 8/30 ,  C08F212/08 ,  C08F220/06 ,  C08F220/58 ,  C08F290/12 ,  G03F 7/038 501 ,  H01L 21/027

FI (9件)：

C08F220/12 ,  C08F 2/50 ,  C08F 8/30 ,  C08F212/08 ,  C08F220/06 ,  C08F220/58 ,  C08F290/12 ,  G03F 7/038 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (57件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CA18 ,  2H025CA26 ,  2H025CA28 ,  2H025CA34 ,  2H025CA39 ,  2H025CA48 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA48 ,  4J011QA02 ,  4J011QA12 ,  4J011QA18 ,  4J011QA19 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA35 ,  4J011QB03 ,  4J011QC09 ,  4J011SA01 ,  4J011SA21 ,  4J011SA31 ,  4J011SA64 ,  4J011SA78 ,  4J011SA80 ,  4J011SA82 ,  4J011SA87 ,  4J011UA01 ,  4J011WA01 ,  4J027AA02 ,  4J027AJ06 ,  4J027BA07 ,  4J027BA19 ,  4J027BA24 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10 ,  4J100AB02P ,  4J100AJ02Q ,  4J100AL03P ,  4J100AM23R ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA31 ,  4J100HA62 ,  4J100HC51