特許

J-GLOBAL ID：200903012138416759

形状検査装置

発明者： 田中 一幸
出願人/特許権者： 太陽誘電株式会社
代理人 (1件)： 吉田 精孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-004714
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213631
出願日： 1993年01月14日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】 被検査面の凹凸形状を適正に検査できる形状検査装置を提供すること。【構成】 光量検出器10の検出レベルが最小設定値よりも低い場合に検査箇所を高さ下限値とし、また光量検出器10の検出レベルが最小設定値以上で且つ位置検出器9の検出レベルが最小設定値以下の場合に検査箇所を高さ上限値とするデータ補正部13を設けているので、位置検出器による位置検出が不可能な場合でも検査箇所の高さを確実に捕らえて検査を実施できる。

請求項（抜粋）：

被検査物を所定方向に移動させる搬送手段と、レーザと、被検査面に被検査物移動方向と直交する方向にレーザ光を走査させるレーザ光走査手段と、被検査面からの反射光を受光し検査箇所の高さに係る位置信号を出力する位置検出器と、位置検出器の出力信号に基づいて被検査面の高さ分布データを演算するデータ処理手段と、高さ分布データを基準データと比較して被検査面形状の良否判定を行う判定手段とを具備した形状検査装置において、被検査面からの反射光を受光する光量検出器と、光量検出器の検出レベルが最小設定値よりも低い場合に検査箇所を高さ下限値とし、また光量検出器の検出レベルが最小設定値以上で且つ位置検出器の検出レベルが最小設定値以下の場合に検査箇所を高さ上限値とするデータ補正手段とを設けた、ことを特徴とする形状検査装置。

IPC (6件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/62 415 ,  G06F 15/64 ,  G06F 15/64 320