特許
J-GLOBAL ID:200903012145240976
サイドローブを減少した超音波トランスジューサ及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中村 稔 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-068228
公開番号(公開出願番号):特開平7-015799
出願日: 1994年04月06日
公開日(公表日): 1995年01月17日
要約:
【要約】【目的】 横波の影響を排除することにより不所望なサイドローブを制御する超音波トランスジューサを提供する。【構成】 トランスジューサは、サイドローブレベルを減少するためにテーパ付けされた圧電層側面を有している。圧電層上に配置される整合層も同様にテーパが付けられ、更に性能が向上される。圧電層のテーパ付けに代わって、上部電極及び/又は整合層は圧電層に対してサイズが減少され、不所望な横波と破壊的に干渉する波を発生する。サイドローブの減少されたトランスジューサを製造する方法もて提供される。
請求項(抜粋):
圧電上面と、圧電下面と、2つの圧電側面とを有する圧電層であって、上記圧電側面には上記圧電上面の表面積が上記圧電下面より小さくなるようにテーパが付けられている圧電層と、上記圧電下面に配置された第1電極と、上記圧電上面に配置された第2電極とを具備することを特徴とする音響トランスジューサ。
IPC (3件):
H04R 17/00 330
, G01S 7/521
, H01L 41/09
FI (2件):
G01S 7/52 A
, H01L 41/08 C
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