特許

J-GLOBAL ID：200903012147082200

有機金属化学蒸着法による白金膜形成材料と形成方法

発明者： 齋 篤 ,  斎藤 記庸 ,  内田 寛人 ,  小木 勝実
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-048787
公開番号（公開出願番号）：特開平7-258852
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：

【要約】【目的】 高純度の白金膜を高い成膜速度でMOCVD法により形成する。【構成】 ヘキサフルオロアセチルアセトナトトリメチル白金(IV)錯体にH2O またはピリジン1分子がさらに配位した有機白金錯体である[(CH3)3Pt(hfac)・H2O]または[(CH3)3Pt(hfac)・Py] を用いてMOCVDにより基板上に白金膜を形成する。【効果】 高い成膜速度で高純度の膜が得られる。成膜を少量のCOガスの存在下で行うと膜純度が一層向上する。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1) で示される有機白金錯体からなる、有機金属化学蒸着法による白金膜形成材料。【化1】式中、Lは水又はピリジンの分子である。

IPC (3件)：

C23C 16/18 ,  C07F 15/00 ,  H01L 21/205