高繰返しパルスレーザ電極

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木内光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-278046
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121812
出願日： 1991年10月24日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】高出力のレーザ光を得ることができるような、効率の高い優れた高繰返しパルスレーザ電極を提供する。【構成】複数の開口部10を有する多孔性主電極9の背面側に、電気的に接続された複数本のピン状予備電離電極11を配置する。多孔性主電極9の開孔端部10とピン状予備電離電極11先端との間で発生した紫外線が、多孔性主電極の開孔部から主放電領域に拡散する。対向する2つの主電極1,9間の空間を広い範囲にわたって均一に予備電離することが可能になるので、高繰返し動作下でも安定なグロー放電を維持することができる。

請求項（抜粋）：

第1の主電極と、前記第1の主電極に対向して配設された第2の主電極と、これら両主電極間に生じる主放電に先立ち、紫外線の作用により主放電空間を電離させる予備電離電極を備えた高繰返しパルスレーザ電極において、前記第2の主電極が複数の開孔部を有する多孔性金属材料より構成され、その背面側に複数のピン状予備電離電極が配設され、前記多孔性主電極の開孔端部と前記ピン状予備電離電極の先端との間で生じるスパーク放電により、予備電離を行うように構成したことを特徴とする高繰返しパルスレーザ電極。

IPC (2件)：

H01S 3/0977 , H01S 3/038

FI (2件)：

H01S 3/097 E , H01S 3/03 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-228680
特開平2-240981
特開平2-307282

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