特許

J-GLOBAL ID：200903012151573456

漂遊静電容量摂動修正回路を有する静電容量型加速度計

発明者： ミシェル トラグロサ
出願人/特許権者： セクスタン タヴィオニーク
代理人 (1件)： 山本 恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-017753
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281669
出願日： 1994年01月19日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は出力信号の直線性上での漂遊静電容量の影響が減少する加速度計を提供することである。【構成】 本発明の加速度計はシリコン静電容量検出器と、検出器の静電容量の不均衡を測定し、加速度を表す出力電圧を供給する電子装置を含む。更に、検出器での漂遊静電容量によって生じる摂動を解決するために、出力電圧がコンデンサの静電容量の和と差と間の比に対して実質上比例するように選択され、漂遊静電容量の減少する影響を修正するための修正ユニットとを含む。

請求項（抜粋）：

並列の漂遊静電容量(C1,C2 )によって減少し、静電容量の不均衡が加速度による2つの可変コンデンサ(Cs,Ci)を含む装置を含むシリコン静電容量検出器(1)と、検出器の静電容量の不均衡を測定し、加速度を表す出力電圧(vs)を供給する電子装置(21,30,26)とを具備する加速度計(50,60,80)において、前記コンデンサ(Cs,Ci)に前記出力電圧(vs)と基準電圧(v)との組み合わせである電圧(avs-bv,avs+bv )を印加供給する供給ユニット(21)と、前記コンデンサの各々から電流を集中供給するために、測定電圧(vd,vs )を供給する電流/電圧変換ユニット(30)と、フィードバックループの出力からの後段の前記出力電圧(vs)と前記測定電圧(vd,vs )を供給ユニット(21)に供給するフィードバックループ(26)と、前記基準電圧(v)と測定電圧(vd,vs )から生じる修正電気信号(vc,I)を測定システム(21,30,26)に供給するために設けられ、かつ前記出力電圧(vs)が前記コンデンサの静電容量の和(Cs+Ci)と差(Cs-Ci)と間の比に対して実質上比例するように選択され、漂遊静電容量(C1,C2 )の減少する影響を修正するための修正ユニット(45,70 )とを含むことを特徴とする漂遊静電容量摂動修正回路を有する静電容量型加速度計。

IPC (4件)：

G01P 15/125 ,  G01D 3/04 ,  G01D 5/24 ,  G01P 21/00