特許
J-GLOBAL ID：200903012163126374
半導体生産ラインにおける装置駆動データ管理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-254980
公開番号（公開出願番号）：特開平5-094448
出願日： 1991年10月02日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】半導体生産ラインの装置の各駆動ユニットの装置駆動データを、容易に且つ迅速に変更できるとともに、データの増加に対しても処理スピードにロスタイムが生じないように駆動データを管理する。【構成】駆動データを、各半導体生産装置の装置名ファイル、各駆動ユニットのユニット名ファイル、駆動ユニットの各々の動作項目名ファイルおよび設定データファイルの4レベルのデータファイルに分割し、且つデータ管理用プログラムに対し独立してデータ記憶部に記憶する。各半導体生産装置へのデータ送信またはデータの修正や追加の変更に際して、装置名ファイルの装置番号、ユニット名ファイルのユニット番号および動作項目名ファイルの動作項目番号を順次読み込む。この各番号により設定データファイル内の処理すべきデータが一義的に決定される。
請求項（抜粋）：
複数動作項目の駆動データを必要とする駆動ユニットを複種類組み合わせて構成された半導体生産装置が複数台設置されてなる半導体生産ラインにおける全ての前記駆動データの保存、利用および変更等を行う管理方法において、前記駆動データを、前記各半導体生産装置の装置名ファイル、前記各駆動ユニットのユニット名ファイル、該駆動ユニットの動作項目名ファイルおよび設定データファイルの4レベルのデータファイルに分割するとともに、データ管理用プログラムに対し独立して管理用コンピュータのデータ記憶部に記憶し、前記各半導体生産装置へのデータ送信またはデータの変更に際し、前記装置名ファイルの装置番号、前記ユニット名ファイルのユニット番号および動作項目名ファイルの動作項目番号を順次読み込み、前記設定データファイルの中の前記読み込まれた各番号に一致する部分のデータを指定するようにしたことを特徴とする半導体生産ラインにおける装置駆動データ管理方法。
IPC (3件)：
G06F 15/21
, H01L 21/02
, H01L 21/50
