特許

J-GLOBAL ID：200903012165577985

照明装置および該照明装置を備えた露光装置

発明者： 谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-327585
公開番号（公開出願番号）：特開平10-153866
出願日： 1996年11月22日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】 被照射面における照明光の傾きおよび位置ずれを1つの検出系で高精度に検出することのできる照明装置。【解決手段】 光源手段(1)と被照射面(B)との間で照明光の一部を取り出すための光分割手段(HM)と、取り出された照明光に基づいて被照射面と光学的に等価な所定面における照明光の基準軸(AX)に対する位置ずれおよび傾きを検出するための検出手段(5)と、所定の開口部を有する光制限手段(PH)とを備えている。そして、光制限手段は、照明光の基準軸に対する傾きの検出に際して光源手段と所定面との間の光路中に設定され、照明光の基準軸に対する位置ずれの検出に際して光路から退避するように構成されている。

請求項（抜粋）：

所定の基準軸に沿って照明光を被照射面に向けて供給するための光源手段と、前記光源手段と前記被照射面との間の光路中に配置されて前記照明光の一部を取り出すための光分割手段と、前記光分割手段を介して取り出された前記照明光に基づいて、前記被照射面と光学的に等価な所定面における前記照明光の前記基準軸に対する位置ずれおよび傾きを検出するための検出手段と、前記検出手段を介して検出された前記照明光の前記基準軸に対する傾きを補正するために、前記光源手段と前記被照射面との間の光路中において前記照明光の前記基準軸に対する角度を調整するための角度調整手段と、前記検出手段を介して検出された前記照明光の前記基準軸に対する位置ずれを補正するために、前記光源手段と前記被照射面との間の光路中において前記照明光を前記基準軸に対して平行移動させるための平行移動手段と、所定の開口部を有する光制限手段とを備え、前記光制限手段は、前記照明光の前記基準軸に対する傾きの検出に際して前記光源手段と前記所定面との間の光路中に設定され、前記照明光の前記基準軸に対する位置ずれの検出に際して光路から退避するように構成されていることを特徴とする照明装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 521 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/20 521 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 516 Z ,  H01L 21/30 527