特許

J-GLOBAL ID：200903012169265970

カラー液晶表示素子とその製造方法

発明者： 鳥越 恒光
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-134726
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304814
出願日： 1995年05月09日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】 低反射率でカラーフィルタの剥離が少ないカラー液晶表示素子とその製造方法を提供することである。【構成】 基板11上にクロムなどを堆積し、これをパターニングしてブラックマスク13を形成する。研磨或いはエッチングにより、ブラックマスク13の表面に凹凸を形成し、ブラックマスク13の反射率を低減させる。続いて、カラーレジストを塗布し、プリベイク、露光、現像、ポストベイクを繰り返して、ブラックマスク13に端部が延在するように各色のカラーフィルタを形成する。ブラックマスク13の表面に凹凸が形成されているので、ブラックマスク13とカラーフィルタ14の固着強度が高く、カラーフィルタ14の剥離が防止される。

請求項（抜粋）：

基板上にブラックマスク膜を形成する工程と、前記ブラックマスク膜を所定形状にパターニングする工程と、前記ブラックマスク膜の表面に凹凸を形成する凹凸形成工程と、パターニングされたブラックマスク膜に端部が重なるように、前記基板上にカラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成工程と、を具備することを特徴とするカラー液晶表示素子の製造方法。