特許

J-GLOBAL ID：200903012172881703

振動アクチュエータの駆動装置

発明者： 戸部 通宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079768
公開番号（公開出願番号）：特開2000-278966
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 移動方向による速度差を調整することを可能にする。【解決手段】 所定周波数の交流電圧を持つ駆動信号を発生する発振器21と、発振器21の一方の出力を、位相差90°又は-90°だけ位相変換する移相器22と、移相器22の出力を増幅して、圧電素子13の電極13a,13a’に接続する増幅器23と、発振器21の他方の出力を増幅して、圧電素子12の電極13b,13b’に接続する増幅器24と、圧電素子13の電極13p,13p’の出力に基づいて、発振器21の駆動信号の周波数を制御する駆動周波数制御回路25と、圧電素子13の電極13p,13p’の出力電圧(ピックアップ電圧)のゲイン等を調整して、駆動周波数制御回路25に出力する出力調整回路26とを備える。

請求項（抜粋）：

電気機械変換素子とその電気機械変換素子が一方の面に接合された弾性体とからなる振動子を備え、その振動子に接触した相対運動部材との間で少なくとも2方向の相対運動を行う振動アクチュエータと、前記電気機械変換素子に交流電圧を印加する駆動回路と、前記振動子の振動状態を検出する振動状態検出器と、前記振動状態検出器の検出結果に基づいて、前記駆動回路の交流電圧の周波数を制御する駆動周波数制御回路と、前記振動アクチュエータが第1又は第2の方向に移動するときの移動方向による駆動速度の差を近づけ又は異ならせるように、前記振動状態検出器の出力を調整する出力調整回路と、を含む振動アクチュエータの駆動装置。

Fターム (23件)：

5H680AA00 ,  5H680AA08 ,  5H680AA12 ,  5H680BB01 ,  5H680BB13 ,  5H680CC02 ,  5H680DD01 ,  5H680DD15 ,  5H680DD23 ,  5H680DD53 ,  5H680DD55 ,  5H680DD59 ,  5H680DD72 ,  5H680DD82 ,  5H680DD92 ,  5H680EE21 ,  5H680EE24 ,  5H680FF08 ,  5H680FF23 ,  5H680FF25 ,  5H680FF30 ,  5H680FF33 ,  5H680FF40