特許
J-GLOBAL ID：200903012174361618
自動焦点合わせ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-034340
公開番号（公開出願番号）：特開平7-245075
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、荷電粒子線を試料に焦点合わせする自動焦点合わせ装置に関し、荷電粒子線の光軸の近傍に配置したセンサと試料(あるいは試料に対応する平板など)との間の容量を測定して高さ情報を検出し、荷電粒子線の自動焦点合わせを行い、短焦点高分解能の電子顕微鏡などの装置の自動焦点合わせを高精度、迅速かつ簡単な構成で実現することを目的とする。【構成】 荷電粒子線の光軸の周りに、試料4に対向して固定し配置したセンサ11と、試料4とセンサ11との間の容量を測定し、測定した容量に対応した予め測定しておいた電流あるいは電圧に制御し、荷電粒子線を試料4に焦点合わせする制御回路とを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線を試料に焦点合わせする自動焦点合わせ装置において、荷電粒子線の光軸の周りに、試料(4)に対向して固定し配置したセンサ(11)と、試料(4)と上記センサ(11)との間の容量を測定し、測定した容量に対応した予め測定しておいた電流あるいは電圧に制御し、荷電粒子線を試料(4)に焦点合わせする制御回路とを備えたことを特徴とする自動焦点合わせ装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
