試料の分離装置及び分離方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-240665
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068172
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】内部に分離用のそうを有する貼り合わせ基板を分離する際に欠陥が発生することを防止する。【解決手段】内部に多孔質層101bを有する貼り合わせ基板101の第1領域(周辺部)及び第2領域(中央部)をジェット及び超音波により夫々分離する。即ち、第1領域に関しては、貼り合わせ基板101を回転させながらノズル102から噴射するジェットにより分離する。一方、第2領域に関しては、超音波振動子203で超音波を発生し、この超音波により分離する。

請求項（抜粋）：

内部に分離用の層を有する試料を該分離用の層で分離する分離装置であって、前記分離用の層に向けて流体を噴射することにより該分離用の層の主に第1領域を分離する第1分離手段と、振動エネルギーにより前記分離用の層の主に第2領域を分離する第2分離手段と、を備え、前記第1及び第2分離手段により前記試料を前記分離用の層で分離することを特徴とする分離装置。

IPC (5件)：

H01L 21/02 , H01L 21/304 601 , H01L 27/12 , B26F 3/00 , H01L 21/306

FI (6件)：

H01L 21/02 B , H01L 21/304 601 Z , H01L 27/12 B , B26F 3/00 S , B26F 3/00 E , H01L 21/306 Z

Fターム (15件)：

3C060AA20 , 3C060CA03 , 3C060CE07 , 3C060CE11 , 3C060CE21 , 3C060CE23 , 5F043AA40 , 5F043DD06 , 5F043DD13 , 5F043DD30 , 5F043EE05 , 5F043EE07 , 5F043EE08 , 5F043EE35 , 5F043EE40

前のページに戻る