特許
J-GLOBAL ID:200903012184807797

ノズル塗布方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松山 圭佑 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-244436
公開番号(公開出願番号):特開平9-092134
出願日: 1995年09月22日
公開日(公表日): 1997年04月04日
要約:
【要約】【課題】 プラズマディスプレイパネルの障壁形成層等の厚膜を一度の塗布工程により形成する。【解決手段】 ノズル塗布装置10は、塗工液が充填される液体容器18下端のノズル20先端から塗工液を吐出しつつ、これをガラス基板16に対してX方向に駆動して塗布ライン21Aを形成し、次にY方向に塗布ラインの幅よりも小さいピッチPだけ移動して、次の塗布ライン21Bを形成し、順次隣接する塗布ラインが幅方向に一部重なるようにして、ガラス基板16上に塗工面22を形成する。
請求項(抜粋):
被塗工物の平面状の塗布面に対して離間した状態で、ノズル先端から塗工液を吐出しつつ、前記塗布面に対してこれと平行に、該ノズルを相対的に移動させて、塗布面に塗工液をライン状に塗布し、次の塗布ラインの幅方向の一部が先の塗布ラインに幅方向に重なるように順次繰り返して塗布することにより塗工面を形成することを特徴とするノズル塗布方法。
IPC (2件):
H01J 9/02 ,  B05D 1/02
FI (2件):
H01J 9/02 F ,  B05D 1/02 A
引用特許:
審査官引用 (6件)
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