特許

J-GLOBAL ID：200903012184836576

ITO薄膜及びその製造方法

発明者： 野中 荘平 ,  高山 孝一 ,  三島 昭史
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 町野 毅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-282128
公開番号（公開出願番号）：特開2000-109321
出願日： 1998年10月05日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：

【要約】【課題】 導電性に優れたITO薄膜を提供すること。【解決手段】 薄膜のX線回折の(400)ピークからシェラー法により求められる結晶子サイズが500Å以上であるITO薄膜。

請求項（抜粋）：

薄膜のX線回折の(400)ピークからシェラー法により求められる結晶子サイズが500Å以上であるITO薄膜。

IPC (4件)：

C01G 19/00 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  C30B 29/22

FI (4件)：

C01G 19/00 A ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 A ,  C30B 29/22

Fターム (16件)：

4G077AA03 ,  4G077AA08 ,  4G077AB08 ,  4G077AB09 ,  4G077BC60 ,  4G077DA14 ,  4G077EA02 ,  4G077SB03 ,  4K029AA11 ,  4K029BA47 ,  4K029BA50 ,  4K029BB08 ,  4K029BC03 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029DB05