特許

J-GLOBAL ID：200903012197613762

水溶性ホトレジスト組成物の製造方法

発明者： 日高 敬浩
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-169514
公開番号（公開出願番号）：特開平8-036261
出願日： 1994年07月21日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【構成】 水溶性ジアゾ樹脂と、水溶性アクリル系共重合体とを含有する水溶性ホトレジスト組成物を製造する方法において、水溶性アクリル系モノマーを、連鎖移動剤及び重合開始剤とともに水性溶媒中に滴下して重合し、得られた水溶性アクリル系共重合体と水溶性ジアゾ樹脂とを混合することを特徴とする方法。【効果】 少ない露光量で感光硬化できるとともに、人体や作業環境・自然環境への悪影響が少ない。また、塗膜の曇りの発生を防止し、解像度を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

水溶性ジアゾ樹脂と、水溶性アクリル系共重合体とを含有する水溶性ホトレジスト組成物を製造する方法において、水溶性アクリル系モノマーを、連鎖移動剤及び重合開始剤とともに水性溶媒中に滴下して重合し、得られた水溶性アクリル系共重合体と水溶性ジアゾ樹脂とを混合することを特徴とする方法。

IPC (4件)：

G03F 7/021 501 ,  G03F 7/004 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033