特許
J-GLOBAL ID：200903012200689783
静電容量式圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-354982
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186106
出願日： 1992年12月18日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 結露や塵の問題を含めた大気環境の変化に影響されることなく微圧から高圧までの圧力レンジを静電容量的に計測可能とする。また、環境の変化に起因する誤差の発生を抑え、高精度でかつ信頼性の高い圧力計測を可能にする。【構成】 筒状の枠体1と、枠体1の両端部に対向して形成された第1のダイアフラム2および第2のダイアフラム3と、第1のダイアフラム2と第2のダイアフラム3との対向面に接続されて固定された梁部4と、梁4に第1のダイアフラム2,第2のダイアフラム3と対向して支持され一方の面に可動電極6が形成された可動電極支持板5と、ダイアフラム支持部1の内壁面に可動電極支持板5と対向しかつ梁4を挿通して支持され可動電極6とギャップGを介して対向する面に固定電極8が形成された固定電極支持板7とを備え、枠体1は外部と隔離されるとともに可動電極6と固定電極8との間にコンデンサ構造Cを形成した。
請求項（抜粋）：
ほぼ筒状に形成されたダイアフラム支持部と、前記ダイアフラム支持部の両端部を閉塞するように対向して形成された第1のダイアフラム部および第2のダイアフラム部と、前記第1のダイアフラム部と第2のダイアフラム部との対向面に接続されかつ前記第1のダイアフラム部と第2のダイアフラム部とを固定する梁部と、前記梁部に前記第1のダイアフラム部,第2のダイアフラム部と対向して支持されかつ少なくとも一方の面に可動電極が形成された可動電極支持部と、前記ダイアフラム支持部の内壁面に前記可動電極支持部と対向しかつ前記梁部を挿通して支持されるとともに前記可動電極と空洞部を介して対向する少なくとも一方の面に固定電極が形成された固定電極支持部と、を備え、前記ダイアフラム支持部内は外部と隔離されるとともに前記可動電極と固定電極との間にコンデンサ構造を形成したことを特徴とする静電容量式圧力センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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