特許
J-GLOBAL ID：200903012204143408
微粒子計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161315
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123694
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 バックグランドとしての流体の散乱の影響を取り除き、S/N比を高く、かつ精度良く微粒子を検出できる微粒子計測装置を提供する。【構成】 サンプルセル20内の粒子を含む流体はレーザー光源12により照明され、その散乱光を、集光レンズ11、12、マスク34を介してエタロン干渉計30に入射する。エタロン32は、レーザー光源3から出射した光の振動数に等しい散乱光(レーリー散乱光)のみを透過する。透過した散乱光成分を光電子増倍管41に入射させ、その光強度に基づき、粒子の大きさを分類し、単位流量当りの粒子数、粒子径分布などを演算部43で演算する。また、エタロン32の環境依存性を補償するために、フォトダイオード52、ミラー53〜56から成る制御部50を設ける。
請求項（抜粋）：
流体中の微粒子の散乱光を受光することにより、粒子径ないし粒子数を測定する装置において、発光源からの光の照射により、微粒子を含む流体からの散乱光の内、微粒子からの散乱光を分離する分離手段と、抽出された散乱光成分の強度に基づき、流体中の微粒子径ないし粒子数を演算する演算手段とを有することを特徴とする微粒子計測装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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