特許

J-GLOBAL ID：200903012204369155

環状の背骨を有する感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物

発明者： 崔 相 俊
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-350530
公開番号（公開出願番号）：特開2000-007730
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】 環状の背骨を有する感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物を提供する。【解決手段】 (a)化学増幅型レジストに用いられる次の式を有する感光性ポリマーと、【化1】式中、R1はC1〜C20の脂肪族炭化水素であり、R2はt-ブチル、テトラヒドロピラニル、または1-アルコキシエチル基であり、l/(l+m+n)は0.2〜0.5、m/(l+m+n)は0.2〜0.5、n/(l+m+n)は0.0〜0.4である。(b)フォトアシドジェネレーターよりなるレジスト組成物。これにより、ポリマーの乾式蝕刻に対する耐性を確保し、かつこのようなポリマーより得られたレジスト組成物により優秀なリソグラフィパフォーマンスが得られる。

請求項（抜粋）：

化学増幅型レジストに用いられる次の式を有する感光性ポリマー。【化1】(式中、R1はC1〜C20の脂肪族炭化水素であり、R2はt-ブチル、テトラヒドロピラニル、または1-アルコキシエチル基であり、l/(l+m+n)は0.2〜0.5、m/(l+m+n)は0.2〜0.5、n/(l+m+n)は0.0〜0.4である。)

IPC (3件)：

C08F120/30 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

C08F120/30 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R